Процесс монтажа (посадки) кристаллов при сборке изделий микроэлектроники является одним из важнейших, так как от правильности выбора таких параметров, как точность монтажа, время, температура, усилие зависит качество посадки кристалла и дальнейшая работа изделия.
Поэтому для такого ключевого процесса необходимо иметь современное, высокоточное и гибкое оборудование. Для выполнения операции монтажа кристаллов компания "Совтест АТЕ" предлагает своим заказчикам оборудование от одного из ведущих мировых производителей установок монтажа кристаллов – израильской компании Micro Assembly Technologies, Ltd (МАТ).
Компания MAT была основана в 2000 году и с момента своего образования специализируется на производстве машин для монтажа кристаллов в микроэлектронной индустрии. Установки компании MAT применяют крупнейшие производители микроэлектроники, такие как Motorola, Kodak, Alcatel, Samsung и другие. Используют их при монтаже кристаллов, Flip-Chip-компонентов, эвтектическом присоединении кристаллов, ультразвуковом монтаже, монтаже MCM-компонентов, сборке гибридных ИМС и других изделий микроэлектроники. Всего в мире установлено и работает более 350 машин. Оборудование компании нашло широкое применение при изготовлении многокристальных модулей, изделий МЕМС, сенсоров, различных эвтектических процессов (рис.1). Установки могут работать с широким диапазоном подложек: арсенид галия, кремний, стекло, ситалл, гибкие и жесткие печатные платы, выводные рамки и другие. Модели 6400 и 6920 могут быть встроены в автоматические линии. Установки компании MAT позволяют выполнять монтаж большого количества кристаллов, а также пассивных и активных компонентов на одну подложку за счет возможности размещения в рабочей зоне большого количества питателей. Машины этой компании позволяют работать с кристаллами размером от 200 мкм и с компонентами, имеющими размеры 25×25 мм. Также возможна работа с кристаллами нестандартных размеров и с чувствительными компонентами типа CCD-матрицы, сенсорами и другими. Захват кристаллов может производиться как из упаковок типа Waffle/Gel pack, так и с пластин диаметром до 300 мм и ленточных питателей. Все машины снабжены системой контроля положения кристалла и системой контроля зазора между кристаллом и подложкой во время монтажа.
Установки компании MAT отличает высокая гибкость, быстрота переналадки, высокая производительность, точность монтажа и низкая стоимость владения. Для работы с MEMS разрабатываются специальные насадки, которые позволяют захватывать компоненты прямо с полупроводниковой пластины.
В зависимости от модели, оборудование ориентировано на мелко-, средне- и серийное производство, а также на использование в лабораторных условиях. Основными представителями модельного ряда компании являются полуавтоматическая система монтажа кристаллов серии 649х, автоматическая высокоточная модель 6400 и автоматическая система монтажа кристаллов 6920.
Установка модели 649x
Данная модель (рис.2) является универсальной настольной полуавтоматической установкой, идеально подходящей для применения в лабораторных условиях и в условиях мелкосерийного производства. Она позволяет производить монтаж кристаллов, Flip-Chip-компонентов, эвтектическое присоединение кристаллов, мультичип модулей и других компонентов.
Машина имеет возможность нанесения различных материалов (флюсы, пасты и др.), позволяет работать с кристаллами нестандартных размеров и с чувствительными компонентами, есть возможность работы с картой годных кристаллов на пластине и распознавания маркировки Ink Dot.
Установка модели 6400
Данная модель (рис.3) представляет собой автоматическую высокоточную систему монтажа кристаллов под управлением ОС Windows XP. Установка может выполнять посадку кристаллов практически всеми известными методами.
Модель 6400 может производить захват кристаллов из упаковок типа Waffle/Gel pack, пластин диаметром до 300 мм, ленточных питателей, нестандартных поддонов заказчика и т.д.
Установка может работать с картой годных кристаллов, а также выполнять распознавание кристаллов, помеченных краской (Ink dot recognition). Точность монтажа ±3 мкм.
Установка модели 6920
Модель 6920 – это высокопроизводительный конвейерный автомат присоединения кристаллов, Flip-Chip-компонентов, эвтектического присоединения кристаллов и других видов монтажа (рис.4). Машина, также как и предыдущие модели, может работать с широким диапазоном подложек и питателей.
Главной особенностью данной модели является наличие двух монтажных головок (рис.5). Модель 6920 позволяет одновременно работать:
* с 70 магазинами типа Waffle и GEL-Pack,
* с 40 питателями для компонентов в бобинах/лентах,
* с 10 пластинами диаметром 200 мм.
В установке имеется возможность работы с картой годных кристаллов на пластине и распознавания маркировки. Машина может одновременно работать с MCM- и Flip-Chip-компонентами и полностью подходит для эвтектического присоединения кристаллов. Максимальная производительность установки может достигать до 3000 кристаллов в час. Точность монтажа ±15 мкм, усилие монтажа – до 3 кг.
Установки фирмы МАТ в зависимости от модели могут оснащаться большим количеством опций:
* дозатором материалов, с помощью которого возможно нанесение широкого диапазона адгезивов как дозированием, так и методом переноса,
* системами захвата кристаллов с полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм (рис.6),
* держателями подложек как в стандартной конфигурации, так и нестандартных подложек,
* ленточными питателями и питателями непосредственной подачи кристаллов с пластин,
* ультразвукового или эвтектического монтажа кристаллов,
* устройством переворота кристаллов Flip-Chip (рис.7),
* конвейерной рабочей зоной с загрузчиками и разгрузчиками.
Компания MAT имеет широкую сеть дистрибьюторов по всему миру. В России официальным дистрибьютором МАТ является компания "Совтест АТЕ". Сервисные инженеры ООО "Совтест АТЕ" прошли соответствующее обучение на фирме MAT, что позволяет им квалифицированно и оперативно выполнять все работы, связанные с вводом в эксплуатацию оборудования.
Более подробную информацию обо всем оборудовании, поставляемом компанией "Совтест АТЕ", можно получить на сайте www.sovtest.ru или, связавшись с нашими менеджерами по телефону (4712) 54-54-17.
Компания MAT была основана в 2000 году и с момента своего образования специализируется на производстве машин для монтажа кристаллов в микроэлектронной индустрии. Установки компании MAT применяют крупнейшие производители микроэлектроники, такие как Motorola, Kodak, Alcatel, Samsung и другие. Используют их при монтаже кристаллов, Flip-Chip-компонентов, эвтектическом присоединении кристаллов, ультразвуковом монтаже, монтаже MCM-компонентов, сборке гибридных ИМС и других изделий микроэлектроники. Всего в мире установлено и работает более 350 машин. Оборудование компании нашло широкое применение при изготовлении многокристальных модулей, изделий МЕМС, сенсоров, различных эвтектических процессов (рис.1). Установки могут работать с широким диапазоном подложек: арсенид галия, кремний, стекло, ситалл, гибкие и жесткие печатные платы, выводные рамки и другие. Модели 6400 и 6920 могут быть встроены в автоматические линии. Установки компании MAT позволяют выполнять монтаж большого количества кристаллов, а также пассивных и активных компонентов на одну подложку за счет возможности размещения в рабочей зоне большого количества питателей. Машины этой компании позволяют работать с кристаллами размером от 200 мкм и с компонентами, имеющими размеры 25×25 мм. Также возможна работа с кристаллами нестандартных размеров и с чувствительными компонентами типа CCD-матрицы, сенсорами и другими. Захват кристаллов может производиться как из упаковок типа Waffle/Gel pack, так и с пластин диаметром до 300 мм и ленточных питателей. Все машины снабжены системой контроля положения кристалла и системой контроля зазора между кристаллом и подложкой во время монтажа.
Установки компании MAT отличает высокая гибкость, быстрота переналадки, высокая производительность, точность монтажа и низкая стоимость владения. Для работы с MEMS разрабатываются специальные насадки, которые позволяют захватывать компоненты прямо с полупроводниковой пластины.
В зависимости от модели, оборудование ориентировано на мелко-, средне- и серийное производство, а также на использование в лабораторных условиях. Основными представителями модельного ряда компании являются полуавтоматическая система монтажа кристаллов серии 649х, автоматическая высокоточная модель 6400 и автоматическая система монтажа кристаллов 6920.
Установка модели 649x
Данная модель (рис.2) является универсальной настольной полуавтоматической установкой, идеально подходящей для применения в лабораторных условиях и в условиях мелкосерийного производства. Она позволяет производить монтаж кристаллов, Flip-Chip-компонентов, эвтектическое присоединение кристаллов, мультичип модулей и других компонентов.
Машина имеет возможность нанесения различных материалов (флюсы, пасты и др.), позволяет работать с кристаллами нестандартных размеров и с чувствительными компонентами, есть возможность работы с картой годных кристаллов на пластине и распознавания маркировки Ink Dot.
Установка модели 6400
Данная модель (рис.3) представляет собой автоматическую высокоточную систему монтажа кристаллов под управлением ОС Windows XP. Установка может выполнять посадку кристаллов практически всеми известными методами.
Модель 6400 может производить захват кристаллов из упаковок типа Waffle/Gel pack, пластин диаметром до 300 мм, ленточных питателей, нестандартных поддонов заказчика и т.д.
Установка может работать с картой годных кристаллов, а также выполнять распознавание кристаллов, помеченных краской (Ink dot recognition). Точность монтажа ±3 мкм.
Установка модели 6920
Модель 6920 – это высокопроизводительный конвейерный автомат присоединения кристаллов, Flip-Chip-компонентов, эвтектического присоединения кристаллов и других видов монтажа (рис.4). Машина, также как и предыдущие модели, может работать с широким диапазоном подложек и питателей.
Главной особенностью данной модели является наличие двух монтажных головок (рис.5). Модель 6920 позволяет одновременно работать:
* с 70 магазинами типа Waffle и GEL-Pack,
* с 40 питателями для компонентов в бобинах/лентах,
* с 10 пластинами диаметром 200 мм.
В установке имеется возможность работы с картой годных кристаллов на пластине и распознавания маркировки. Машина может одновременно работать с MCM- и Flip-Chip-компонентами и полностью подходит для эвтектического присоединения кристаллов. Максимальная производительность установки может достигать до 3000 кристаллов в час. Точность монтажа ±15 мкм, усилие монтажа – до 3 кг.
Установки фирмы МАТ в зависимости от модели могут оснащаться большим количеством опций:
* дозатором материалов, с помощью которого возможно нанесение широкого диапазона адгезивов как дозированием, так и методом переноса,
* системами захвата кристаллов с полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм (рис.6),
* держателями подложек как в стандартной конфигурации, так и нестандартных подложек,
* ленточными питателями и питателями непосредственной подачи кристаллов с пластин,
* ультразвукового или эвтектического монтажа кристаллов,
* устройством переворота кристаллов Flip-Chip (рис.7),
* конвейерной рабочей зоной с загрузчиками и разгрузчиками.
Компания MAT имеет широкую сеть дистрибьюторов по всему миру. В России официальным дистрибьютором МАТ является компания "Совтест АТЕ". Сервисные инженеры ООО "Совтест АТЕ" прошли соответствующее обучение на фирме MAT, что позволяет им квалифицированно и оперативно выполнять все работы, связанные с вводом в эксплуатацию оборудования.
Более подробную информацию обо всем оборудовании, поставляемом компанией "Совтест АТЕ", можно получить на сайте www.sovtest.ru или, связавшись с нашими менеджерами по телефону (4712) 54-54-17.
Отзывы читателей
